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根据清华大学官网消息,清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心以及德国联邦物理技术研究院的合作团队在《自然》上发表了研究论文,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(SSMB)的首个原理验证实验。唐传祥指出,基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的卡脖子难题。在芯片制造的产业链中,光刻机是必不可少的精密设备,是集成电路芯片制造中最复杂和关键的工艺步骤,而大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础。随着芯片工艺节点的不断缩小,预计对EUV光源功率的要求将不断提升,达到千瓦量级。
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